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真空镀膜机设备的压力控制的原理是什么
来源:www.mjsjfw.com 发布时间:2020年12月02日
沈阳真空镀膜机技术于工业生产和科学实验中应用,要求真空镀膜设备的真空室内的真空度能够满足真空工艺的运作需求,在设定压力值上稳定维持。现在比较少用手动调节真空微调阀来完成这种要求,现今常选择自动的压力调节方式,这就需要借助压力控制仪来完成了。
沈阳真空镀膜机
镀膜机采用的压力控制仪通常是由真空计、真空调节阀以及压力自动调节电路所组成的。它是一种自动控制仪器,集压力调节与真空测量于一身。具有自动和手动的调节压力的功能。它的性能指标主要有:反应时间、流量控制范围、控制精度以及压力控制范围等,这些性能取决于镀膜机配置的真空调节阀、控制电路及真空规管等元件的性能。

压力控制仪的运行有自动、手动两种方式:

1、手动。当开关转向手动开关位置时,压力控制仪就像上述的手动调节真空微调阀,进入手动压力调节方式;

2、自动。当开关转向自动开关位置时,压力控制仪便形成闭环形式的自动控制,可自动调节压力的设定值。它的调节原理是:先通过压力设定装置设置控制压力值,然后参照被控对象的特性,对PID调节单元的微分时间、积分时间及其比例度等参数进行选择,当真空计输出一个电压信号(该信号指代被控镀膜机的真空室压力值)时,压力调节系统会将该值与压力设定值作比较,将两者之间的差值进行运算,再利用驱动电路以及驱动真空调节阀来改变真空室气体进入的流量,从而维持真空室内的真空度,保持在它的压力设定值上。
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